主要规格及技术指标

1.标准模式下，二次电子分辨率：0.5nm（15kV），1.0nm（1kV），1.5nm（0.5kV）；
2.电子束流范围3pA～20nA，束流稳定性0.2%/h；
3.能谱能量分辨率127eV（Mn Kα），元素分析范围Be4～Cf98。

主要功能及特色

场发射扫描电镜利用高能聚焦的电子束扫描样品表面，通过电子与物质相互作用产生二次电子、背散射电子等信号，不同的探测器接受这些信号，从而对样品的微观形貌、成分衬度等进行观察。同时，配置EDS、EBSD探测器可以进行成分和晶体结构的分析。因其具有分辨率高、景深长、视野大、成像立体感好、试样制备简单、信息丰富、扩展性强等特点，广泛应用于金属、新能源、新材料、地矿油气、半导体、生物医学、考古文博等多个领域，是科学研究中不可或缺的利器。

主要附件及配置

无