FT-MTA03 三轴纳米定位平台 3轴可移动轴 驱动范围29mm×29mm×29mm 最小步进20nm 位移记录器分辨率1nm 最高速度10mm/s 测试频率50Hz(max)三轴压电扫描器 驱动范围50μm×50μm×50μm
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