主要规格及技术指标

放大倍率：底片倍率(10-600,000x)，显示器倍率(18-1,000,000x)
电子系统：电子枪(肖特基热场)，加速电压(0.5-30kV)，着陆
电压(0.1-2.0kV)，透镜系统(三级电磁线圈系统)，
物镜光阑(四孔光阑，真空外选择和细调)
探 测 器：二次电子探测器
真空系统：离子泵*2，分子泵，机械泵
样 品 台：五轴优中心马达台(X：0~100mm；Y：0~50mm；
Z：3-65mm；T：-20°~90°；R：360°)
样品大小：最大直径(200mm)；最大高度(80mm)

主要功能及特色

材料表面显微结构分析
EDS

主要附件及配置

EDS